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射频电源
产品概述

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关键特性


v  先进高效率、高稳定性射频功放技术

v  全数字控制,高稳定度和高可靠性

v  稳定可靠的功放和直流控制模块

v  具有驻波保护功能,能在负载出现异常后快速启动

v  输出功率余量大,可长期稳定的工作

v  具有精确的功率测量功能,能精确的测量入射和反射功率

v  具有自动增益控制,能精准的控制输出功率

v  支持本地控制和远程控制,远程控制采用RS232和RJ45网口

v  采用先进的功放技术,输出功率可从1%至最大输出功率连续可调

v  2kW及以上采用7寸触控屏,操作直观,简单

v  模块化结构设计,安装维修方便,节省空间,结构外形美观,大方

v  支持实时功率和负载阻抗测量

v  支持连续工作模式、脉冲工作模式

v  能通过扫频实现自动匹配功能

v  工作频率:13.56MHz、27.12MHz、40.68MHz

v  输出功率:1kW、2kW、3kW、5kW、6kW、8kW、10kW


商业应用

应用领域及行业:
光伏产业、化工业、制造业、平板显示器行业、半导体行业、科学研究等
等离子体清洗、等离子体增强化学气相沉积(PECVD)、等离子体刻蚀、射
频离子源、等离子体扩散、等离子体聚合溅射、薄膜沉积、硅晶镀膜等